新美光：半导体材料国产化的园区力量

发布日期：2025-01-21 浏览次数：0

“中国第一家能够研制出450mm超大尺寸高品质半导体级单晶硅棒的企业。”四年前，苏州工业园区企业新美光（苏州）半导体科技有限公司（以下简称“新美光”）450mm半导体级单晶硅棒研发成功，将在先进制程等离子刻蚀环节实现硅部件国产替代。新美光董事长夏秋良接受了园丰资本专访，介绍了企业的成长发展之路。

新美光成立于2013年，公司专注于研发先进半导体材料，从事集成电路核心部件的研发和产业化，围绕等离子刻蚀先进制程打造核心部件的生态链，成功研发了国际先进的超导磁场MCZ半导体级单晶硅生长技术，聚焦于单晶硅材料、单晶硅部件、碳化硅部件、刻蚀腔体表面镀膜等核心技术。

半导体硅部件是先进制程等离子刻蚀工艺过程中最关键的零部件，目前硅部件国产化率仅为10%左右。新美光具备从超大尺寸高品质半导体单晶硅材料生长到硅部件微纳加工的全流程研发能力，也是目前国内少数能够完成从材料生长及加工全产业链的集团企业。

“11个9”背后

随着半导体技术的发展，集成电路的特征尺寸不断缩小，对应刻蚀工艺次数越来越高，对硅部件消耗越来越多，同时也对硅部件原材料均匀性、寿命有更高的要求。

芯片制造工艺繁多复杂，其中薄膜沉积、光刻、刻蚀是芯片制造三个主要工艺环节。新美光目前生产的“11个9”单晶硅棒主要用于加工刻蚀用单晶硅部件，这是晶圆制造刻蚀环节所需的核心耗材，主要包括上电极、聚焦环以及外套环等类别。刻蚀过程中，各类硅部件均会被逐渐腐蚀并变薄，当硅电极厚度缩减到特定程度后，需用新的硅部件替换以保证刻蚀均匀性，因此硅电极是晶圆制造刻蚀工艺的核心耗材。

新美光的单晶硅棒采用MCZ超导磁场直拉法，这种方法结合了传统的CZ法拉晶技术与磁场控制技术，特别是利用超导磁体产生的强磁场来优化晶体生长过程。

在传统的CZ法拉晶过程中，熔融的硅被放置在一个坩埚中，然后一个籽晶被插入熔融硅的表面，并且缓慢地向上提起，同时旋转。熔融硅沿着籽晶的边缘结晶，形成一个单晶硅棒。然而，这个过程可能会产生一些缺陷，如热应力和掺杂剂的不均匀分布。

MCZ技术通过在坩埚周围施加磁场来解决这些问题。磁场的作用可以减少熔融硅中的对流，从而减少晶体生长过程中的热应力和掺杂剂的不均匀分布。这有助于提高晶体的整体质量和均匀性，减少晶体中的缺陷，如位错和微缺陷，大大提升了硅棒加工成的硅部件在刻蚀过程中的使用寿命。新美光董事长夏秋良先生透露，“现在新美光生产的半导体级别单晶硅棒纯度可达‘11个9’，即99.999999999%，含氧量低，杂质含量均匀，且没有微观缺陷，这点非常关键。”

园区芯“光”

99.999999999%，这是逼近物质极限的纯度要求。11个9纯度的半导体级单晶硅棒，成为新美光团队给中国集成电路和芯片产业的献礼。

新美光公司自成立以来迅速发展，先后荣获国家级专精特新小巨人、国家高新技术企业、江苏省双创人才、江苏省高新区潜在独角兽企业、苏州市瞪羚企业、独角兽培育企业、苏州工业园区科技领军人才等荣誉称号，并参与了2个国家级重大研发专项课题。

同样值得关注的还有新美光的营收增长。夏秋良透露，随着新产品验证速度加快、技术能力更加成熟、与客户联合研发的推进，以及子公司苏州冠韵威电子有限公司在半导体设备用高端电气系统和模组产品的不断突破，新美光的营收将实现裂变式增长。

“新美光是园区土生土长的科创企业，我们希望长期扎根在苏州。”展望未来，夏秋良表示，建设中的研发运营总部基地将为公司提供更大空间承载来自各地的优秀人才，实现公司新增优质产能进一步释放。

今年3月26日，新美光（苏州）半导体总部项目在苏州工业园区奠基。项目包括研发总部办公楼、高标准定制厂房、甲类仓库等功能载体。研发及生产车间计划于2028年投入使用，全部落成投用后，新美光及子公司将整体迁入。

此前，新美光搬迁至苏州工业园区蒌葑新厂区，公司的单晶硅棒产能随之扩大10倍，单晶硅部件实现全面量产。

探路海外市场

“我们会先将国内的基本盘做好，期待作为中国创新企业到海外作一些布局。”夏秋良先生相信，从替代走向引领的进程中，正直诚信、持续创新、追求卓越是当前高度不确定的VUCA时代下的企业进击之道。

不断变化和充满挑战的情境中，企业需要更加灵活和适应性强，能够快速响应变化，同时也需要具备在不确定性中做出决策的能力。

新美光超大尺寸单晶硅棒的自主生长技术的突破，解决了我国在半导体材料领域被国外“卡脖子”的现状，实现了原材料自主可控。不仅如此，新美光自主生长的单晶硅棒还远销海外，成为国外存储晶圆厂等终端客户认证通过的刻蚀用硅部件的原材料。

截至当前，新美光以苏州为总部，在浙江海宁设有子公司，研究开发更先进的碳化硅部件技术。在马来西亚槟城设有工厂，布局东南亚及其他海外客户。在韩国设有分公司，负责新美光单晶硅材料和碳化硅材料的海外市场销售。

荧荧之光，可照旷野。在新美光的规划中，公司将持续不断地投入重资研发，围绕国内外集成电路晶圆厂、设备厂家，努力打造成为核心零部件的平台型企业，以此致敬崭新的时代和开拓道路上的每一位奋斗者。

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