基于深紫外microLED显示的无掩膜光刻技术与应用示范
核心提示:Nature Photonics近日刊登了题为“High-power AlGaN deep-ultraviolet micro-light-emitting diode displays for maskless photolithography”的研发文章。该研究报道了具有世界上首个高功率、高光效、高分辨率、高像素密度、低功耗的深紫外microLED显示阵列芯片,并基于该显示芯片提出并实现了深紫外microLED无掩
2025-01-12