发布日期:2025-05-15 浏览次数:0
万青,1998年本科毕业于浙江大学材料系,2004年在中科院上海微系统所获得微电子学博士学位。先后在湖南大学、中科院宁波材料所、南京大学从事科研和教学工作,目前担任甬江实验室功能材料与器件异构集成研究中心主任。从事半导体和功能材料与器件研究20多年,代表成果包括:1)早在2001年就发表了国际第一篇LiTaO3单晶薄膜Smart-cut工艺探索论文,为其5G/6G射频滤波器、电光调制器应用奠定了材料基础。2)早在2009年,成功研制了世界上第一个非晶IGZO双电层TFTs,也是国际IGZO氧化物神经形态晶体管的发明人。3)发明了一种室温键合临时键合设备与技术,结合背面精密减薄工艺,成功实现了大尺寸(8-12英寸)硅晶圆和大尺寸(6-8英寸)铌酸锂/钽酸锂单晶超低成本减薄。
目前已累计在Nature Communications、Advanced Materials、IEEE EDL等权威杂志发表SCI论文300多篇,他引3万次,并连续多年荣获中国高被引用学者称号。先后荣获全国百优博士论文、中国青年科技奖、浙江省科技一等奖(个人排名第1)、国家杰出青年基金、国家万人计划科技领军人才等资助和荣誉。
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